台積電導入電子級二氧化碳再生技術，建立半導體供應鏈碳循環模式
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近期，台積電與雙氧水供應商合作，將上游製氫過程產生的含碳尾氣進行回收、純化，再製成符合半導體製程需求的電子級二氧化碳，並導入晶圓廠使用，透過供應鏈合作建立資源循環模式。
依台積電公開資訊，此次再生電子級二氧化碳的來源，是雙氧水供應商製氫過程所產生的含碳尾氣。
在回收流程上，供應商於氫氣工廠增設回收管線與儲存設備，集中收集尾氣後，先透過吸脫附程序去除殘留氫
氣，再經由純化程序分離雜質、提升二氧化碳純度，最終製成符合半導體製程品質要求的電子級二氧化碳。
由於電子級材料對純度與品質穩定性的要求較高，因此此次合作並不只是單純的「回收再利用」，也包含後續的品質管理。台積電協助供應商建立批次品質保證證明（CoA）機制，並進行尾氣成分分析、純度檢測及純化參數調整，同時改善產線流程與槽車沖吹標準，降低製程及運輸過程中的雜質風險。
這項案例值得關注的地方，不僅在於二氧化碳被重新利用，更在於減碳行動的範圍從企業內部延伸到供應鏈。
對製造業而言，企業的碳排放並不只來自自身廠區。原物料、化學品、設備及運輸等供應鏈活動，都可能涉及相應的溫室氣體排放。因此，當企業開始掌握自身排放來源後，下一階段往往需要進一步了解供應鏈排放，並與供應商共同尋找改善方式。
此次台積電與供應商共同投入回收設備、純化技術與品質管理，便呈現出供應鏈合作的一種具體形式：由供應鏈中的排放源著手，重新思考原料使用、資源回收與產品供應之間的關係，將原本的排放物轉化為可再次使用的材料。
這類做法也與企業推動 Scope 3（範疇三） 管理的方向有所連結。當企業盤點價值鏈排放後，除了掌握排放量，也可以進一步辨識供應鏈中的主要排放來源與改善機會，作為後續供應商管理及減碳行動的依據。
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